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쏠라쎌 LOADING, UNLOADING

작성자 관리자 날짜 2022-06-20 17:19:31 조회수 717
쏠라쎌 LOADING, UNLOADING
개요 · Saw damage 및 Texture Etch를 하기 위한 Inline type proces 설비에 Wafer를 공급하기 위해 Wafer를 이송
특징

Stack magazine으로부터 웨이퍼를 빼어내어 conveyor belt 상으로 Texture Etch 장비에 웨이퍼를 자동으로 공급하며, 
Texture Etch 작업이 끝난 뒤 웨이퍼를 자동으로 quartz boat에 적재

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