(주)삼호산업

작성자 관리자 날짜 2022-06-20 17:23:46 조회수 697

IN-LINE LOADING / UNLOADING SYSTEM
개요	· 고해상도 POLY-SI BACKPLANE 제조공정에서 필수적인 PRE-COMPACTION(선수축)열처리 공정과 ION-DOPING 후 활성화 공정에 사용되는 LOADING UNLOADING SYSTEM
특징	빠른속도의 연속직 유리기판 교체가 가능한 INLINE TYPE의 급속열처리 장치 RCM의 적용으로 WARPAGE 없는 급속 냉각 처리기능 CHAMBER내의 균일도를 ±3℃ 이내로 유지할 수 있게 COOLING 및 HEATING PLATE 부착 단위 MODULE이 조립식으로 구성되어 CUSTOMER 요구에 적합하게 배열과 MODULE 개수를 조정 가능
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IN-LINE LOADING / UNLOADING SYSTEM

개요

· 고해상도 POLY-SI BACKPLANE 제조공정에서 필수적인
PRE-COMPACTION(선수축)열처리 공정과
ION-DOPING 후 활성화 공정에 사용되는 LOADING UNLOADING SYSTEM

특징

빠른속도의 연속직 유리기판 교체가 가능한 INLINE TYPE의 급속열처리 장치 RCM의 적용으로
WARPAGE 없는 급속 냉각 처리기능

CHAMBER내의 균일도를 ±3℃ 이내로 유지할 수 있게
COOLING 및 HEATING PLATE 부착 단위 MODULE이 조립식으로 구성되어
CUSTOMER 요구에 적합하게 배열과 MODULE 개수를 조정 가능

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